正向排氣的鼓風機可以同旋片泵串連使用,以在中等真空下得到比單獨使用旋片泵時有更大抽速和更低的極限壓強。羅茨泵,或羅
茨鼓風機,由裝在兩根平行轉(zhuǎn)軸上的一對繭形轉(zhuǎn)子構成。轉(zhuǎn)子自身之間和轉(zhuǎn)子同泵殼之間的游隙典型的約為0.2mm。兩個轉(zhuǎn)子以
3000rpm至3500rpm的轉(zhuǎn)速反向同步旋轉(zhuǎn)。由于轉(zhuǎn)子同泵殼之間的游隙不用油密封,所以這樣的轉(zhuǎn)速是可行的。
羅茨泵的壓縮比,或泵的進氣口和出氣口壓強之比與壓強有關,通常其最大值100Pa接近。在較高的壓強下,泵的壓縮比較小,這是
由子游隙中的流導是隨壓強的升高而增加的。在較低的壓強下,從理論上講,壓縮比應保持不變,但實際上卻是下降的,出氣和轉(zhuǎn)
子表面的粗糙度使得低壓強下的壓縮比有所損失。每當轉(zhuǎn)子朝向高壓強側(cè)時,轉(zhuǎn)子表面就會吸附氣體,而當轉(zhuǎn)子面向低壓強側(cè)時就
釋放出已吸附氣體中的一部分。其最大壓縮比為44。大J泵的壓縮比要比小型泵的高一些,因為大型泵的游隙所占空間與泵容積之比
較小。象氮那樣的輕的氣體的壓縮比要比對空氣的壓縮比小15-20%。壓縮比是個靜態(tài)量,是在流量為零的條件下側(cè)得的。測量時,
泵的進氣口是被封住的并接上一個壓強規(guī),排氣口與一合粗抽泵相接,并對整個系統(tǒng)進行抽氣。將氣體放入羅茨泵與旋片泵連接的
前級管路內(nèi),在羅茨泵排氣口處
側(cè)量壓強P(前級壓強),在進氣口處測呈壓強P1。壓縮比由P/P1得出。
在高壓強下用羅茨泵排氣時會產(chǎn)生可觀的熱量,它會引起轉(zhuǎn)子膨脹,并可能損壞泵。為避免過熱,規(guī)定了羅茨泵進氣口和排氣口之
間的最大壓差。最大壓差一般為1000Pa,但短時間內(nèi)超過此值不致造成泵的損壞。為避免發(fā)熱,羅茨泵按壓縮泵或傳輸泵方式連接。
在較常見的壓縮排氣的方式中,羅茨泵與旋片泵串聯(lián)使用,旋片泵的額定抽速比羅茨泵抽速低5至10倍。當從大氣壓開始抽氣時,應
打開繞過羅茨泵的旁路管道或者讓羅茨泵空轉(zhuǎn)。此時全部抽氣作用由機械泵承當,直到前級壓強低于制造廠推薦的壓差時,再啟動
羅茨泵并關閉旁路閥門。某些羅茨泵的泵體上就設有這種旁路特性。
|