爪式泵是為半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展而研制的，它有如下特點：

1）泵腔內(nèi)無潤滑劑，因而無返油現(xiàn)象發(fā)生。

2）抽氣元件為非接觸式的可實現(xiàn)高速運轉(zhuǎn)（3000r/min）。

3）與泵抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損。

4）在泵腔內(nèi)氣流垂直運動，少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除。

5）該泵型式多樣，功能可以擴展，泵的主體，帶有齒輪、馬達以及氣體凈化設(shè)備，附件有入口處防返流的閥門，出口處有截流閥，

電氣監(jiān)控及報警裝置。

6）齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑，上端蓋內(nèi)德軸承用PFPE油脂潤滑。

7）第二、三、四級均有凈化入口，以改善被抽介質(zhì)順利通過泵腔，無此需要的可以不用通凈化氣體，凈化氣體用三個流量計分別調(diào)

節(jié)，相互都是獨立的，以保證節(jié)約惰性氣體，利用三個電磁閥可微調(diào)其流量。

8）入口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔斷，出口處截流閥能將泵的出口封閉起來，將泵通以凈化氣體，這些閥可自動開關(guān)，真空系

統(tǒng)有可靠得保護，杜絕了向真空室的返流。

9）電氣監(jiān)控與操作，主要有電源，遠(yuǎn)距離操作和開關(guān)閥等的控制。

當(dāng)泵出現(xiàn)故障時，泵能自動停車，兩個閥門一齊關(guān)閉或截流閥關(guān)閉。動力和遙控有一臺變壓器和整流器，以提供所需的電流電壓，

以滿足監(jiān)控過程的需要。動力電源、繼電器用以對馬達的接通和斷開及馬達超負(fù)荷的保護。操作流程有顯示器，有按鈕控制，可控

制馬達、防返流閥的控制閥和截流閥的控制閥，第二、三、四級的凈化氣體的通斷閥，惰性氣體的主按鈕操作。啟動時門打開凈化

氣體，泵正常運行3min，凈化氣體向各段通入，通凈化氣體對泵性能有影響。每當(dāng)遇到緊急情況可按停車鍵，凈化氣體繼續(xù)接通，

關(guān)閉入口防返流閥，各級泵凈化1min，凈化結(jié)束馬達再停車，關(guān)閉惰性氣體截止閥。