真空泵中所用的真空計(jì)可分為兩大類(lèi):一類(lèi)是能直接測(cè)出系統(tǒng)壓力的絕對(duì)真空規(guī)，如麥克勞(Mcleod )真空規(guī);另一類(lèi)是經(jīng)絕對(duì)真空規(guī)標(biāo)定后使用的相對(duì)真空規(guī)，熱偶真空規(guī)與電離真空規(guī)是最常用的相對(duì)真空規(guī)。凡能從其本身測(cè)得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)直接計(jì)算出氣體壓力的稱(chēng)絕對(duì)真空計(jì)，這種真空計(jì)測(cè)量精度較高，主要用作基準(zhǔn)量具。相對(duì)真空計(jì)主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性(如熱傳導(dǎo)、電離、黏滯性和應(yīng)變等)與壓力的關(guān)系間接測(cè)量，其測(cè)量精度較低，而且測(cè)量結(jié)果還與被測(cè)氣體種類(lèi)和成分有關(guān)。因此相對(duì)真空計(jì)必須用絕對(duì)真空計(jì)標(biāo)定和校準(zhǔn)后方能用作真空測(cè)量。但它能直接讀出被測(cè)壓力，使用方便，在實(shí)際應(yīng)用中占絕大多數(shù)。真空技術(shù)需要測(cè)量的壓力范圍為105~10-11Pa，甚至更小，寬達(dá)16個(gè)數(shù)量級(jí)以上，尚無(wú)一種真空計(jì)能適用于從粗真空、低真空、高真空、超高真空到極高真空的全范圍測(cè)量，因而需要有多種真空計(jì)進(jìn)行組合測(cè)量。最常用的如下:
(1) U形管真空計(jì)。U形管真空計(jì)用以測(cè)量粗真空和低真空的絕對(duì)真空計(jì)。在U形的玻璃管中充以工作液(低蒸氣壓的油、汞).管的一端被抽成真空(或直接通大氣)，另一端接被測(cè)真空系統(tǒng)。
(2)壓縮式真空計(jì)。壓縮式真空計(jì)又稱(chēng)麥克勞真空規(guī)或麥?zhǔn)险婵找?guī)，是一種測(cè)量低真空和高真空的絕對(duì)真空計(jì)。這種真空計(jì)一般用硬質(zhì)玻璃制成，測(cè)量精度較高。
(3)電阻真空計(jì)。電阻真空計(jì)又稱(chēng)皮喇尼真空計(jì)，是一種測(cè)量低真空的相對(duì)真空計(jì)，主要由電阻式規(guī)管和測(cè)量線路兩部分組成。
(4)熱陰極電離真空計(jì)。熱陰極電離真空計(jì)通稱(chēng)電離真空計(jì)，主要用于高真空測(cè)量。它是由圓筒式熱陰極電離規(guī)管和測(cè)量線路兩部分組成。
(5)冷陰極電離真空計(jì)。冷陰極電離真空計(jì)是一種測(cè)量高真空的相對(duì)真空計(jì)，它由電離規(guī)管和測(cè)量線路兩部分組成。
(6)熱偶真空規(guī)(又稱(chēng)熱偶規(guī))。由加熱絲和熱電偶組成，其頂部與真空系統(tǒng)相連。
